中文名称:二乙基硅烷
CAS No:542-91-6
EINECS号：208-834-9
分子式:C4H12Si
沸点:56 °C (lit.)
闪光点:?20?°F
密度:0.681 g/mL at 25 °C (lit.)
用途:二乙基硅烷作为沉积金属硅酸盐膜的硅源。一种形成作为电子器件中高k电介质的金属硅酸盐的方法，包括步骤：提供二乙基硅烷至反应区；同时提供氧源至该反应区；同时提供金属前驱体到该反应区；通过化学气相沉积使该二乙基硅烷、氧源和金属前驱体发生反应，以在包括该电子器件的衬底上形成金属硅酸盐。该金属优选为铪、锆或其..
安全说明:16-23-24/25
危险品运输编号：UN 1993 3/PG 2